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測量性能方面，DMP10 的測量范圍可達 0-2000μm，分辨率高達 0.1μm（視量程而定），搭配高靈敏度探頭，在不同區間保持優異精度：100μm 內誤差≤1μm，100-1000μm 誤差≤1%，1000-2000μm 誤差≤3%。獨特的零點自動校準與兩點校準功能，確保在不同基材和環境條件下持續輸出可靠數據，支持單一讀數、自由運行、掃描等多種測量模式，單位可靈活切換微米、毫米、密耳。